真空科学与技术学报
Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
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《真空科学与技术学报》经新闻出版总署批准,自1981年创刊,国内刊号为11-5177/TB,本刊积极探索、勇于创新,栏目设置及内容节奏经过编排与改进,受到越来越多的读者喜爱。
《真空科学与技术学报》主要刊登真空技术、表面与界面物理与化学、表面分析、电子材料、薄膜物理与工艺、真空冶金、等离子体科学与工艺等。